激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。其次，他還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數控系統）機床動態特性測量與評估、回轉坐標分度精度標定、觸發脈沖輸入輸出功能等。

激光干涉儀的功能有以下幾方面：

1.自動螺距誤差補償  該儀器不僅能自動測量機器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計算機和數控系統實現通信。對誤差進行自動補償。它比通常的手工補償方法節省了大量的時間，同時可最大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到最佳精度。

2.回轉坐標精度標定。回轉坐標分度精度標定可對數控臺在任意角度位置，可任意測量間隔進行自動測量及補償，其精度±1rad

3.機床動態特性測試與評估。利用RENISHAV動態特征測量與評估軟件，可用干涉儀進行機床震動測試與分析（FFT）、滾珠絲桿的動態特性分析、伺服驅動系統的響應特性分析、導軌的動態特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對機器源進行分析。

4.觸發脈沖輸入、輸出功能。利用觸發脈沖輸入，可實現外部控制激光干涉儀記錄數據，從而可實現類似于激光絲杠動態精度檢查儀的功能或機床傳動鏈精度檢查功能，利用觸發脈沖輸出，可用激光干涉儀定時或定距發出脈沖，從而實現類似于激光光刻機的功能。

5.可選AB正交信號輸出。AB正交信號是標準光柵信號。由于RENISHAW激光干涉儀能輸出該信號，因而可將該激光干涉儀作為長度基準用于其他場合，如動態光刻等。

6.雙軸同步校準系統。在某些機器眾，某一軸線運動由雙驅動和雙反饋系統控制（如龍門銑床和大型龍門移動的機器等）。在這種情況下，雷尼紹雙軸校準軟件可在一臺計算機上連接并控制兩個接口卡。提供了同步自動采集兩平行軸數據的能力，從雙軸上采集的數據同時顯示在PC上，并根據要求存儲起來。然后分別加以分析或進行雙軸誤差補償。

7.其他用戶接口裝置。可用雷尼紹公司提供的特殊接口軟件，對于現有某些品牌的電子水平儀或數字指示儀器的用戶，配合雷尼紹激光干涉儀校準軟件，實現直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測，從而節省用戶投資費用。